报告摘要：

    MEMS电容式压力传感器具有温度特性好、功耗低、灵敏度高等优势，在工业自动化、汽车电子等领域有着广泛的应用。然而，传统电容式压力传感器存在非线性严重、灵敏度低等问题。利用BP+NSGA-Ⅱ算法对传感器的多参数进行协同优化，采用杠杆梁-膜结构结合分段式梳齿结构提高传感器的性能。通过悬臂梁与锚点构成的杠杆机构放大动梳齿位移，在保持膜片的独立变形下，增大电容变化量。通过在膜下添加凸台结构，改善了传感器的非线性。传感器采用24段式梳齿结构，可有效降低高长宽比梳齿结构的加工难度，提高了梳齿加工的可靠性和传感器的鲁棒性。实验结果表明，在0-100 kPa的压力下，24段式梳齿结构灵敏度为0.106 pF/kPa，非线性误差为0.39%F.S.，重复性误差约0.5%F.S.，稳定性误差0.23%F.S.
报告人简介：

    庄须叶，山东理工大学，教授。2009年获得中科院长春光学精密机械与物理研究所工学博士学位，于2009年7月全职加入中科院光电技术研究所从事光学MEMS技术研究，2012年入职中国兵器工业集团第214所从事MEMS技术研究，2019年入职山东理工大学从事MEMS技术研究。先后承担和参研了国家重大专项、装备探索、共用技术、自然基金、中科院人才创新基金以及北方工业集团军品、民品等多项科研工作，共计发表论文80余篇，授权中国发明专利50余件。